軸承是精密機(jī)械零件，對(duì)滾動(dòng)體和軸承套圈的圓度、波紋度和表面粗糙度有很高的要求，生產(chǎn)過(guò)程必須滿足亞微米級(jí)公差。為了驗(yàn)證生產(chǎn)質(zhì)量，采用了最先進(jìn)的接觸測(cè)量技術(shù)，對(duì)如圓度和波紋度進(jìn)行測(cè)量以及根據(jù)ISO 4287標(biāo)準(zhǔn)對(duì)表面粗糙度進(jìn)行測(cè)量。為了測(cè)量圓度和波紋度，使用了特殊的測(cè)量?jī)x，同時(shí)也可用來(lái)測(cè)量表面粗糙度。測(cè)量主要是在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中以隨機(jī)抽樣的方式檢查零件。同時(shí)，為了滿足日益增長(zhǎng)的軸承質(zhì)量要求，必須增大樣本尺寸，但這增加了質(zhì)量檢查所需的時(shí)間。散射光光學(xué)測(cè)量技術(shù)有助于解決這些矛盾的要求。這項(xiàng)技術(shù)基于光從表面的反射，可在一次操作中測(cè)量圓度、波紋度和表面粗糙度。提供潔凈的環(huán)境，就可使用散射光進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量，并將其集成于如超精和磨削等生產(chǎn)過(guò)程中。此外，周期時(shí)間遠(yuǎn)比接觸測(cè)量短。散射光測(cè)量的結(jié)果可校準(zhǔn)。通過(guò)校準(zhǔn)圓度和波紋度可達(dá)到國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。Aq是從表面粗糙度的光學(xué)結(jié)果得來(lái)的新參數(shù)，雖然其與已知的Ra和Rz值無(wú)關(guān)，但與偶爾使用的Rdq值有關(guān)。
